本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

　　新华社北京8月6日电（记者樊曦、王优玲）记者6日从住房城乡建设部了解到，今年上半年，作为三大工程之一的保障性住房建设取得积极进展。截至6月底，全国已建设筹集保障性住房112.8万套（间），占年度计划170.4万套（间）的66.2%，完成投资1183亿元。

　　据了解，我国目前的住房保障体系分为配租型和配售型两种。配租型包括公共租赁住房、保障性租赁住房，配售型保障性住房按保本微利原则配售。

　　各地加快出台有关实施意见和配套政策，并在保障用地供给、加快项目落地等方面取得积极进展。在福州，当地首个配售型保障性住房最近开通线上申购，西安、广州、深圳、杭州等城市也已开工建设了一批配售型保障性住房项目。在上海，配租型保障性住房进展迅速。截至6月底，上海全市共新增建设筹措保障性租赁住房约4.7万套（间），新增供应约3.4万套（间），均超半年度工作任务量。

　　住房城乡建设部有关负责人表示，下一步将继续督促各地落实好具体项目、位置及项目资金，推动项目加快开工，确保完成年度计划任务。

AWE中国家电及消费电子博览会由中国家用电器协会主办，是全球家电与消费电子领域最具权威性、影响力的行业盛会之一。中国家电创新零售峰会聚焦行业发展痛点，旨在发掘在渠道创新、用户体验、营销转化等方面具有突破性的标杆案例，引领家电行业从传统产品销售，向场景化、体验化、品牌化的创新零售模式转型。四季沐歌空气能此次成功摘奖，标志着其以南北极整合营销为核心的冰雪极境营销体系与场景化实践，得到行业权威平台与专业评审的高度认可。

四季沐歌集团品牌总监李文平（右一）

依托硬核科技实力，四季沐歌持续打造差异化品牌优势。2022年8月，四季沐歌正式签约成为中国南北极科考合作伙伴，旗下空气能热泵产品成为“中国南北极考察选用产品”，正式跻身极地级装备供应商行列。凭借在极端环境下的稳定性能与可靠品质，四季沐歌空气能产品先后护航中国第39次、第41次南极科考任务，随“雪龙2号”科考船登陆中国南极长城站、中山站，在极寒、高湿、高盐雾的严苛环境中持续稳定运行，为科考队供暖保障、温室种植、发电栋供暖等提供坚实支撑，用实际行动践行“温暖守护”的品牌主张。

南北极极端环境的实战验证，不仅是对四季沐歌技术实力的最高加冕，更成为其独特的品牌资产与核心竞争力。四季沐歌以此为根基，将极地严苛环境下的技术验证成果加速民用转化，把极地科技的可靠性、安全性、稳定性传递给广大消费者，构建起技术价值、公益价值与市场价值协同升级的独特优势，为空气能行业高质量发展树立新标杆。

面对行业消费认知不足、极寒工况信任度不高、终端体验缺失等共性难题，四季沐歌空气能以极地技术为内核，创新打造场景化体验新模式，走出一条“极地科技+文旅场景+终端体验”的融合发展之路。

自2021年以来，四季沐歌连续三年在哈尔滨冰雪大世界、索菲亚游客广场、松花江冰雪嘉年华、亚布力滑雪场等核心文旅场景，搭建空气能游客温暖驿站。在零下二三十摄氏度的极寒环境下，依托南极同款超低温热泵技术稳定输出温暖，为游客提供休憩取暖、热水补给等公益服务，同时打造沉浸式技术体验场景，让极地科技从幕后走向台前，直观破解消费者对空气能极寒运行稳定性的认知痛点。

为将南北极IP与场景化体验模式复制至全国，推动品牌从“产品销售”向“体验服务”转型，2025年四季沐歌空气能在全国布局600多个温暖体验小屋，作为场景化体验落地的核心载体。体验小屋深度绑定南北极IP，植入南极科考站供暖场景元素，复刻极寒环境下设备运行工况，通过实物陈列、体感体验、专业讲解等方式，将抽象的极地技术转化为可感知、可信任的温暖体验。依托专业人员对科考应用案例的现场讲解，实现“科普即体验、体验即转化”的销售闭环，有效弥补传统终端门店演示体验不足的短板，将南北极科考赋予的品牌公信力下沉至各级市场，真正打通场景化零售“最后一公里”，为行业提供可复制、可推广的创新零售解决方案。

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此次斩获AWE“2026中国家电创新零售案例奖”，是对四季沐歌创新实践的充分肯定，更是全新的发展起点。未来，四季沐歌将继续深耕极地科技民用转化，持续完善场景化销售体系，不断强化技术创新、体验升级与模式突破，将经过南北极极端环境考验的好产品与优质服务带入千家万户，以行业标杆之力推动空气能产业高质量发展，为家庭绿色舒适生活持续赋能。